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球形硅微粉加工工艺详解

浏览:109 发表时间:2020-07-12 18:19:13


   球形硅微粉主要用于大规模、超大规模和特大规模集成电路的封装上。微电子工业的迅速发展,对硅微粉提出了越来越高的要求。硅微粉不仅要超细、高纯度、低放射性元素含量,而且对颗粒形状提出了球形化要求。高纯熔融球形硅微粉(球形硅微粉)由于其流动性好,表面积小,堆积密度高,填充量可达到较高的填充量,与树脂搅拌成膜均匀。硅微粉的填充率越高,塑封料的膨胀系数就越小,也就越接近单晶硅的热膨胀系数,由此生产的电子元器件的使用性能也越好。用球形硅微粉制成的塑封料应力集中小,强度高,球形硅微粉的应力集中仅为角形硅微粉应力集中的60%,因此,球形硅微粉塑封料封装集成电路芯片时,成品率较高,且运输和使用过程中不容易产生机械损伤。


    球磨机:可以是干法也可以是湿法研磨物料。当球磨机运转时,磨矿介质与物料一起被提升到一定高度后下落,如此反复进行,处于磨矿介质之间及磨矿介质与磨机桶壁之间的物料受到冲击和物料在磨矿介质的滚动、滑动过程中被研磨成细粉。


    振动磨:利用磨矿介质受磨机的振动作用,在磨机腔体内滑动、滚动而对物料进行研磨。微粉分级机的分级原理是:物料被风机抽吸到分级室内,在高速运转的分级转子和分级叶片之间被分级;粗物料沿分级筒壁而下,从底部粗粉出口排出;细粉则随气流穿过转子叶片的间隙由上部细粉出口排出,从而达到分级的目的。

    烘干机:为了保证硅微粉极低的含水率和在干燥时不受污染以及提高生产效率、节约能源而采用空心轴搅拌烘干机,其工作原理是:物料从进料口进入烘干机内,由空心桨叶输送至出料口出料;物料在被输送过程中,受空心桨叶搅拌并由空心桨叶和机体夹套同时加热,水分被蒸发而烘干。含水量在15%~20%的物料,干燥后水分可控制在0.05%以下


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